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LOAD LOCK-LL TRANSFER MOUDULE-TM BUFFER CHAMBER PASSAGE CHAMBER
MASK BUFFER FLIP CHAMBER N2 TRANSFER MODULE-N2 TM AUTOMATIC CONVEYOR SYSTEM
OLED 진공 반송계 세부 UNIT N2 분위기 상압 상태에서 Glass 이송
특징 Glass 유/무 감지 센서 적용
Fork 감지 센서 적용
O2 Sensor 반영 (VENT후 O2잔여 % 확인 가능)
Volume 최적화 설계 반영
N2 치환 시간 안정화 (Quick Purge System)
Main Door 측면 반영
Glass Size 고객사 요청 사이즈 반영
Process 1) 검사 TM
2) CVD후 TM
3) Film remover TM
Pass Line TBD
공정진공도 ≥ 760Torr (상시N2 분위기)
Dry Condition H2O < 5ppm/ O2 < 10ppm
분위기치환시간 2.2hr(H₂O ≤ 5ppm, O₂≤ 10ppm)기준
Laminar Flow 0.3~0.5m/s Flow 형성
Robot ATM DUAL ARM ROBOT
Chamber 재질 SUS304(EP)