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LOAD LOCK-LL TRANSFER MOUDULE-TM BUFFER CHAMBER PASSAGE CHAMBER
MASK BUFFER FLIP CHAMBER N2 TRANSFER MODULE-N2 TM AUTOMATIC CONVEYOR SYSTEM
OLED 진공 반송계 세부 UNIT 고진공 분위기에서 Glass Flip 담당
특징 고진공 변형 최소화
Volume 최적화
Chamber 내부 Heating/ Cooling Unit 적용 가능
Z축 Moving, Flip 가능
Up & Down, Rotation 감지 Sensor
Main Door 측면/ 상부 반영
(상부 Door Gas Spring 적용)
Glass Size 고객사 요청 사이즈 반영
Process 1) 증착 Line B/F
2) Encap Line B/F
Pass Line TBD
Base Pressure 7.42E-7 Torr
R.O.R (Leak Rate) ≤ 0.1mTorr/min(10min)
Tact Time 90sec
Pump DRY Pump + Cryo Pump
Drive  Z축 Moving, Flip
Chamber 재질 SUS304(EP)