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LOAD LOCK-LL TRANSFER MOUDULE-TM BUFFER CHAMBER PASSAGE CHAMBER
MASK BUFFER FLIP CHAMBER N2 TRANSFER MODULE-N2 TM AUTOMATIC CONVEYOR SYSTEM
OLED 진공 반송계 세부 UNIT 고진공 상태에서 Mask 적재
특징 Return Roller(LMS) : 1set
Buffering Mask : 5ea
Mapping 센서 적용
구동부 진공 변형 최소화
Volume 최적화
상부 Lid Open Unit (유지보수용이)
Main Door 측면 반영
Carrier Size TBD
Pass Line TBD
Base Pressure 7.42E-7 Torr
R.O.R (Leak Rate) ≤ 0.1mTorr/min(10min)
Tact Time 90sec
Pump DRY Pump + Cryo Pump
Drive  Rack Jack + Bellows
Chamber 재질 SUS304(EP)