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LOAD LOCK-LL TRANSFER MOUDULE-TM BUFFER CHAMBER PASSAGE CHAMBER
MASK BUFFER FLIP CHAMBER N2 TRANSFER MODULE-N2 TM AUTOMATIC CONVEYOR SYSTEM
OLED 진공 반송계 세부 UNIT 고진공 분위기에서 Glass 이송 역할
특징 Align Unit 반영 (Side 4ea)
Glass 유/무 감지 센서 적용
구동부 진공 변형 최소화
Volume 최적화
Auto가능 상부 Lid Open Unit (유지보수용이)
Glass 적재 수량 :  1단
Main Door 상부 반영
Glass Size 고객사 요청 사이즈 반영
Process 1) 증착 Line B/F 2) Encap Line B/F
Pass Line TBD
Base Pressure 7.42E-7 Torr
R.O.R (Leak Rate) ≤ 0.1mTorr/min(10min)
Tact Time 90sec
Pump DRY Pump + Cryo Pump
Drive  Rack Jack + Bellows
Chamber 재질 SUS304(EP)