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LOAD LOCK-LL TRANSFER MOUDULE-TM BUFFER CHAMBER PASSAGE CHAMBER
MASK BUFFER FLIP CHAMBER N2 TRANSFER MODULE-N2 TM AUTOMATIC CONVEYOR SYSTEM
OLED 진공 반송계 세부 UNIT 고진공 분위기에서 Glass 이송 역할
특징 Glass 유/무 감지 센서 적용
고진공 변형 최소화
Volume 최적화
X축 Moving 가능
Crain으로 Top Lid를 Open하여 유지보수
Glass Size 고객사 요청 사이즈 반영
Process 증착 Line Load Lock
Pass Line TBD
Base Pressure 5.0E-5 Torr
R.O.R (Leak Rate) ≤ 0.1mTorr/min(10min)
Tact Time 90sec
Pump DRY Pump + TMP
Drive X축, Z축 Moving
Chamber 재질 SUS304(EP)