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WET PE CVD Barrier METAL
PE CVD
Plasma_Enhanced Chemical Vapor Deposition
- 플라즈마 화학 기상 증착
- 주로 저온에서 공정 진행
- Al위에 SiO2를 증착
  GaAs위에 Si3N4 증착
- Pe_SiOn, P-Teos, FSG, SiO2 Teos, Pe_Ox, BPSG
LP CVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)